步进式热处理装置
步进式热处理装置
步进式热处理装置。根据步进式热处理装置10，由于在用于协作地输送共通的基板16的固定梁(第1梁)20以及可动梁(第2梁)22中位于外侧的固定梁20上，具备与由该固定梁20所支撑的基板16的侧缘相配合而导引该基板16的横向导引突起74，因此可以很好地防止通过固定梁20以及可动梁22的协作而被输送的基板16的偏移、脱落。
步进式热处理装置，它是具备交替地进行炉长方向的相对移动和上下方向的相对移动的第1梁以及第2梁、和加热炉的步进式热处理装置，其中所述的加热炉具有用于对通过该第1梁以及第2梁的协作而被输送的基板进行辐射加热的加热体，其特征在于： 在用于协作地输送基板的上述第1梁以及第2梁中的位于外侧的梁上，具备与由该梁所支撑着的基板的侧缘相配合而导引该基板的横向导引突起。