超高纯磷酸的生产工艺，该工艺将电子级黄磷或红磷(纯度≥5N)进经过燃烧、吸收、一次性合成微电子工业用超高纯磷酸，其单项金属杂质最高含量不大于100ppb，非金属杂质不大于 10ppm；本发明工艺简单、操作方便、质量便于控制、成品价格大大低于国外同类产品的价格，目前已经开始工业化生产，解决了我国长期以来该产品一直要依赖进口的情况。

【 权利要求 】 一种超高纯磷酸的生产方法，其特征在于：它采用电子级黄磷或红磷作为原料，将电子级黄磷或红磷送入燃烧炉，同时通入经化学处理和过滤器过滤的过量空气，使其充分燃烧，将产生的气态P2O5 通入吸收塔中，在吸收塔中采用纯净水进行循环吸收，当循环吸收的磷酸浓度达到85.0％-87.0％后送入成品槽，在整体不大于千级、局部不大于百级的净化环境下过滤、检测、包装。