comb electrode actuator

简介

是MEMS执行器中最可靠的一种。它采用反应离子刻蚀技术刻蚀SOI衬底上的Si活性层而制造。并将干蚀刻的侧面作为反射镜来使用。它本身不具备自定位能力，为保持反射镜的进出状态，可制成利用压曲现象的棘轮机构，其侧面粗糙度可降至40个纳米。如上图，电极分为固定电极，和多动电极，两者成手指状交叉，这样的结构，可以保证，Y方向上的力互相抵消，保证活动电极沿着X方向运动，当X方向上的驱动力和悬挂弹簧弹力平衡的时候，活动能够电极就不再运动了，这也就到达了平衡位置，对应的电极力就是驱动力。图中活动电极有6个手指，一次驱动只会涉及一面的三个手指。