ISO14644


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ISO14644


ISO 14644

ISO 为全球各国标准化团体(ISO 会员团体)的联合会。其国际标准工作一般是由ISO 各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣,均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO 保持联系的国际组织,无论是政府的还是非政府的组织,同样可参加此项工作。

国际标准 ISO 14644-1 由ISO/TC209 洁净室及相关受控环境技术委员会提出。

ISO 14644在洁净室及相关受控环境的总标题下,由下述各部分组成:

第1部分:空气洁净度等级划分

第2部分:验证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求

第3部分:计量和测试方法

第4部分:设计、施工和启动

第5部分:运行

第6部分:术语和定义

第7部分:增强的洁净装置

洁净室及相关受控环境保证空气中悬浮粒子被控制在合适的级别,以确保完成对污染敏感的有关活动。以下行业的产品和工艺均得益于空气中悬浮污染物的控制:航天、微电子、医药、医疗器械、食品和保健品。

ISO 14644的本部分指定ISO分级的各级别,以此作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术要求。本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序,而且确定了测试的标准方法。

为划分等级,ISO 14644的本部分仅限于确定粒子浓度限值用的指定的粒径范围。本部分还提供了标准协议,以依据大于或小于指定分级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级标识。

ISO 14644的本部分为洁净室和污染控制系列标准中的一个标准。除悬浮粒子洁净度之外,还有许多因素必须在洁净室及其受控环境的设计、技术要求、运行和控制中予以考虑。这些内容在ISO/TC209 技术委员会制定的其它国际标准中有详细论述。

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