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电子探针X射线微区分析(EPMA)ElectronProbeX-rayMicroanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面，并根据微区内所发射出X射线的波长（或能量）和强度进行定性和定量分析的方法。电子探针工作原理电子探针分析的特点(1.显微结构分析2.元素分析范围广3.定量分析准确度高4.不损坏试样、分析速度快)电子探针分析方法及应用EDS与WDS的比较电子探针工作原理电子探针（Elec 详情>>