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MEMS


MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应 详情>>

MEMS交流网

定义网站宗旨网站文化网站主要栏目(新闻资讯视频图片研究团队公司企业学习园地下载中心求职招聘合作交易活动展会)网站发展历史MEMS简介MEMS交流网是一个围绕MEMS(微机电系统),涵盖的MEMS技术、MEMS传感器、MEMS陀螺仪、MEMS招聘、射频MEMS、光学MEMS、微执行器、微飞行器机器人以及MEMS设计和MEMS工艺等的交流网站。以围绕微机电系统发展状况、技术前沿动态、展望未来发展趋势、 详情>>

MEMS 交流


MEMS设计模拟与仿真系统应用

基本信息内容简介基本信息作 者:郝永平,刘凤丽,刘世明著丛书名:出版社:国防工业出版社ISBN:9787118047493出版时间:2007-01-01版 次:1页 数:240装 帧:平装开 本:所属分类:图书>计算机与互联网>计算机控制与仿真内容简介MEMS是一项极具发展前景的军民两用高技术,具有巨大的市场和学科带动性,它的出现引发了一场新的技术革命。CoventorWare是业界公 详情>>

MEMS 设计 模拟 仿真 系统 应用


MEMS资讯网

定义网站宗旨网站主要栏目网站发展历程MEMS资讯网致力于打造中国最大的MEMS信息交流平台,提供最新资讯、分析技术难点、介绍优质产品、推荐知名公司、发布招聘信息等。主要栏目有:新闻资讯、技术文献、求职招聘、研究院所、公司介绍、产品信息、MEMS论坛、MEMSwiki。定义MEMS资讯网的英文名称是MEMSInformationWeb。网站宗旨MEMS资讯网致力于打造中国最大的MEMS信息交流平台, 详情>>

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基于MEMS技术的细胞杂交生物芯片的设计与实现

图书信息内容提要作者简介目录图书信息书名:基于MEMS技术的细胞杂交生物芯片的设计与实现作者:赵志强著策划:北京世图版权代理有限公司(出书网)出版社:中央广播电视大学出版社ISBN:9787304044862CIP号:2010051228开本:32开定价:20元出版时间:2010年4月内容提要本书是学术研究论文,内容为:各种细胞融合技术的发展,细胞电融合过程理论建模和分析,细胞杂交生物芯片等。作者 详情>>

基于 MEMS 技术 细胞 杂交 生物芯片 生物 物芯 芯片 设计 实现


陕西省微型机械电子系统(MEMS)研究中心

参见:陕西省微型机械电子系统研究中心 详情>>

陕西省 陕西 西省 微型 机械电子 机械 械电 电子 系统 MEMS 研究中心 研究 究中 中心


MEMS

MEMS是微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微 详情>>

MEMS


MEMS教育部重点实验室

实验室概况实验室科研项目实验室概况东南大学半导体专业1958年筹建。1979年批准为硕士点,1985年批准为博士点,同年成立微电子中心,1998年批准为博士后流动站。1999年申报微电子机械系统(MEMS)教育部重点实验室,2000年通过可行性论证。MEMS教育部重点实验室现有教授8人,副教授13人,其中有博士学位的教师9人。先后承担的主要课题有:(1)气象检测MEMS芯片与系统,(2)微执行器计 详情>>

MEMS 教育部 教育 育部 重点 实验室 实验 验室


MEMS开关

MEMS开关就是MEMS技术的具体应用。顾名思义,开关就是来控制电路通断状况的,高效、快速反应、准确、重复使用频率、高可靠性是现代电路系统对开关的特殊要求。MEMS开关的产生?MEMS开关和其他开关的比较技术特点发展及现状MEMS开关技术的研究与进展MEMS开关的应用MEMS开关的产生?我们今天所知道的MEMS开关的概念是在20世纪80年代末期90年代初期被提出的。第一份公开发表的论文只是提出了M 详情>>

MEMS 开关


MEMS强链及其应用

基本信息内容简介(目录)基本信息出版社:科学出版社;第1版(2007年1月25日)丛书名:微纳技术著作丛书平装:144页正文语种:简体中文开本:16ISBN:7030183290,9787030183293条形码:9787030183293产品尺寸及重量:24x17x0.8cm;240gASIN:B0011ESQA0内容简介《MEMS强链及其应用》简介:MEMS强链也称MEMS密码锁,是一种用于高 详情>>

MEMS 强链 及其 应用


MEMS振荡器

MEMS振荡器简介MEMS振荡器原理MEMS振荡器特点MEMS振荡器发展的目标?MEMS振荡器简介MEMS振荡器是指通过微机电系统系统制作出的一种可编程的硅振荡器,属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶振产品的一个升级更新换代,防震效果是前者的25倍,具有不受振动影响、不易碎的特点。MEMS振荡器的温度稳定性也比传统晶振更好,不受环境温度高低变化的影响。MEMS振荡器原理传统的石英振荡器是由 详情>>

MEMS 振荡器 振荡 荡器


MEMS制造工艺

1.1概述1.2光刻1.3剥离1.4湿法腐蚀1.5干法刻蚀1.6氧化1.7掺杂1.8化学气相沉积1.9真空镀膜2MEMS制造工艺及加工的一些公司、机构1.1概述MEMS制造工艺(MicrofabricationProcess)是下至纳米尺度,上至毫米尺度微结构加工工艺的通称。广义上的MEMS制造工艺,方式十分丰富,几乎涉及了各种现代加工技术。起源于半导体和微电子工艺,以光刻、外延、薄膜淀积、氧化、 详情>>

MEMS 制造 工艺


RF MEMS

RF射频,RadioFrequency,简称RF。射频就是射频电流,它是一种高频交流变化电磁波的简称。所谓RFMEMS是用MEMS技术加工的RF产品。RF-MEMS技术可望实现和MMIC的高度集成,使制作集信息的采集、处理、传输、处理和执行于一体的系统集成芯片(SOC)成为可能。按微电子技术的理念,不仅可以进行圆片级生产、产品批量化,而且具有价格便宜、体积小、重量轻、可靠性高等优点。RFMEMS器 详情>>

RF MEMS


基于COMSOLMultiphysics的MEMS建模及应用

本书由浅入深、图文并茂方式讲述comsolmultiphysies有限元软件建立mems模型的基本方法和过程,并辅以典型mems建模实例,书中引用的模型实例均为有关领域专家、学者开发,具有高度的可靠性,为mems研究人员和爱好者,以及高等院校相关专业师生提供阅读、参考资料。书名:基于COMSOLMultiphysics的MEMS建模及应用作者:张玉宝李强ISBN:9787502442767类别:计 详情>>

基于 COMSOLMultiphysics MEMS 建模 应用


微传感器MEMS与智能器件

内容提要编辑推荐作者简介目录作者:(英)加德纳,(美)瓦拉丹,(美)阿瓦德卡里姆 著,范茂军 等译ISBN:10位[7502625577]13位[9787502625573]出版社:中国计量出版社出版日期:2007-9-1定价:¥78.00元内容提要微传感器和MEMS(微电子机械系统)正在使半导体工业领域发生一场新的变革。微系统也称为”芯片系统”,将微电子电路和微传感器及微执行器组合起来。这一新兴 详情>>

传感器 传感 感器 MEMS 智能 器件


微机电系统(MEMS)原理、设计和分析

本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识,内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。图书信息面向读者作者简介图书目录图书信息书名:微机电系统(MEMS)原理、设计和分析作 者:田文超出版社:西安电子科技大学出版社出版时间:2009-5-1ISBN:9787560622231开本:1 详情>>

机电系 机电 电系 MEMS 原理 设计 分析


中国MEMS传感器应用大赛

概述比赛宗旨参赛方式?奖项设置比赛要求相关法律问题概述美新杯中国MEMS传感器应用大赛,是由全球华人微纳米分子系统学会主办、北京大学承办的教育部质量工程支持项目之一,是国际大学生物联网创新创业大赛(InternationalContestofApplicationsinNetworkofThings,简称iCAN)的中国选拔赛,是面向大学生创新的年度科技竞赛,始于2007年,秉承“传递iCAN理念 详情>>

中国 MEMS 传感器 传感 感器 应用 大赛